光氧化是常溫下深度光降解技術。該技術通過特定波長的UV激發光源產生不同能量的光量子；廢氣物質對該光量子的強烈吸收，在大量攜能光量子的轟擊下使廢氣物質分子解離和激發；空氣中的氧氣和水分及外加的臭氧在該光量子的（分解）作用下可產生大量的新生態氫、活性（游離）氧和羥基氧等活性基團；因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧對紫外線光束照射分解后的有機物具有強的氧化作用；部分廢氣物質也能與活性基團反應，降解轉化為低分子化合物、CO2和H2O等無害物質，從而達到凈化廢氣的目的。
       在較低的溫度環境下能提高化學反應速率，而本身結構（組成、化學性質和質量）不發生永久性改變的物質。催化劑所產生的作用稱為催化作用；涉及催化劑的反應為催化反應。